@misc{oai:ritsumei.repo.nii.ac.jp:00011331, author = {星野, 靖}, month = {2019-12-05, 2019-12-05, 2019-12-05}, title = {清浄Si及びSiC表面の酸素、Niとの初期反応過程の原子レベルキャラクタリゼーション}, year = {} }