@misc{oai:ritsumei.repo.nii.ac.jp:00011063, author = {木内, 万里夫}, month = {2019-12-05, 2019-12-05}, title = {MEMS技術を援用したFIB-CVDカーボンナノワイヤのマルチフィジックス特性評価に関する研究}, year = {} }