@misc{oai:ritsumei.repo.nii.ac.jp:00010712, author = {天谷, 諭}, month = {2019-12-05, 2019-12-05, 2019-12-05}, title = {インプリント成形を用いた可動構造を有するポリマーMEMSの製作技術に関する研究}, year = {} }